اين بنا در آبادي قديم اهرستان (ارسون) كه امروزه جزيي از شهر يزد است واقع شده و از آثار قرن هشتم هجري است كه توسط مولانا معين الدين جلال حافظ از فضلاي قرن هشتم هجري بنياد شده است. قبل از اتمام بنا باني فوت كرده و در گنبدي كه براي آرامگاه خود در كنار مسجد مهيا كرده بوده، دفن شده است. بعد از وي در سال 789هـ.ق ساخت بنا به اتمام رسيده است. با اين حال، پوشش تزییني آن اجرا نشد. اين مسجد بر اساس نوشته جامع مفيدي يك بار در سال 1080هـ.ق تعمير و بازسازي شده است.